微纳运控亮相Semi-e深圳半导体展

在刚落幕的“Semi-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展”上，深圳市微纳运控技术有限公司（以下简称微纳运控）亮相，展示国产伺服驱动领域硬实力。

据悉，微纳运控目前已构建出覆盖多场景需求的产品线。此次展会上，重点展示了支持脉冲、EtherCAT总线和Profinet协议的通用伺服驱动器与直驱伺服等。

其中，VC620驱控一体机以“驱控一体化”，实现开箱即用，无需繁杂安装与接线。其设备集成最多六轴伺服驱动和运动控制器，轴与I/O可灵活外扩，大幅降低部署成本。

在功能拓展上，该产品控制器可选配Codesys控制器或以太网板卡控制器，支持二次开发；同时，其逐步完善激光切割、视觉点胶、机器人分拣等应用方案，特别适用于电子设备、激光设备、工业机器人等场景。

而作为2021年国内首家推出Profinet直线驱动产品的型号，VS580直驱伺服支持ABZ、Biss-C、SI等多种编码器，最高分辨率达26位，可实现1000点精度补偿。

同时，该产品配备电机向导式安装功能与高级增益智能自调谐，操作便捷性大幅提升。在控制精度上，其支持10um级别微动与1um级别准静态寻相，EtherCAT版本更可实现龙门同步控制，能适配半导体设备、激光切割、电子设备、数控机床等高端场景。

此外，该产品电流环刷新周期仅1.6us，带宽达3300Hz，定位时间最快至5ms，还支持高频共振抑制与低频末端抖动抑制，可适配直线电机、直接驱动旋转马达、音圈电机等多种电机类型。

V5M防水电机以高防护与高功率密度为核心亮点，防护等级达IP67，可应对潮湿、多尘等复杂工况；功率密度较市场主流产品提高15%，特别适用于数控机床、户外特种作业设备等对稳定性与耐用性要求较高的场景。

除单款明星产品外，微纳运控多轴伺服产品亦吸引诸多关注。该产品在同步控制上，支持任意两轴同步及双X双Y同步，无需额外接线，同步精度最高达10um。

在位置控制上，搭载二维PSO功能，可实现XY两维曲线位置比较输出与实时计算，精度精准至1um，适配激光切割、半导体设备等高精度场景。安全与性能层面，该产品集成STO功能，支持短时输入电压异常穿越。

“我们是国内首家推出国产Profinet直驱伺服的厂商。”微纳运控全球运营中心负责人谢茵莹表示，目前国内规模领先的半导体薄膜沉积装备厂商已在引进该公司VS600系列四轴及六轴总线型驱动器。